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第455章 EBL光刻机开始测试明天开始正常更新(第3页)

以及要求良好的电磁防护。

大概一个小时后,

郝强也没有现什么大问题,但还是有些担忧,让组长开始测试。

随着组长的指令,测试正式开始。

实验室内的气氛瞬间变得紧张而激动,所有人都屏息凝视,目光紧盯着设备的反应。

随着启动按钮的按下,设备出轻微的嗡鸣声,逐渐运转起来,显示屏上开始闪烁着数据。

“设备正常运转!”组长略有兴奋,说明路子是对的。

当然,要测试自然要拿实物硅片进行。

实验室里已经准备好了许多片涂上光刻胶的硅片,ebL光刻机与传统的光刻机不同,它无需掩膜版,直接写入。

光刻机的工作原理,简单来说,就是把硅片当成一块黑板,然后在黑板上画电路图。

而紫外线或电子束(ebL光刻机)就是粉笔,粉笔的粗细就是线条的粗细。

由于黑板大小固定,要想画更多的图,自然是粉笔越细越好,但相应地对技术要求更高,就越难画。

黑板上的一层膜,对应光刻胶。

画完图后,将硅片浸泡在腐化剂中,失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。

用专业的角度来说,

ebL光刻机与紫光光刻机有一些不同。

先,在机器顶部的电子枪区域,场射电子源开始工作。

在强大的电场作用下,尖锐的钨针尖端释放出高能电子束。

这些高电子束就像一支训练有素的微观部队,整齐划一地向下加。

随后,电子束进入复杂的电磁透镜系统。

多组精密的电磁线圈产生磁场,就像一个个无形的透镜,将电子束逐步聚焦成极细的光点。

这束光点的直径可以细到纳米级别,目前工艺制程是工艺制程14nm。

1毫米等于纳米(百万)。

而人类的一根头丝的直径大约为o。o4~o。o5毫米,即4万到5万纳米。

在偏转系统中,精密的偏转线圈控制着电子束的运动轨迹。

通过计算机程序的精确控制,电子束能够在硅片表面进行精确定位和扫描,就像一支精确的纳米画笔。

在真空室底部,覆盖着光刻胶的硅片正静静等待着。

当高能电子束击中光刻胶表面时,生剧烈的化学反应。

被电子束照射过的区域,光刻胶的分子结构生改变,为后续的显影过程做好准备。

这就是ebL光刻机的曝光过程。

此时,

眼前这台造价昂贵的设备,正在以一种近乎完美的方式运转着,将公司芯片设计部门的设计图纸青龙8124转化为纳米级的实体结构。

它就像一位精确的画家,用电子为笔,在硅片上描绘出集成电路的蓝图。

随着加工的进行,实验室里回荡着设备运转的轻微嗡鸣声。

车载芯片青龙8124已经在计算机上验证与测试过了,郝强已经验收,完全没问题了。

如今,就差制造这一步。

以目前的运转情况来说,只能说是初步成功。

屏幕上也呈现了画图过程,但实际情况,那是肉眼看不到的,需要拿去测试。

ebLoo1最大产能为15oph,即处理一个硅片,只需要24秒左右,效率非常高。

当然,设计图越复杂,耗费时间就越长。

理论来说,ebL光刻机的曝光度很慢,但郝强的技术商店就解决了这个问题。

没过多久,

第一片硅片曝光完成,接着继续第二个硅片曝光,直到曝光十个硅片。

“把后续的显影、封装等工艺完成后进行测试,测试结果出来后跟我说一下。”郝强跟组长交代,“目前看来,我们只是初步成功了,理论上研制ebL光刻机这条路是行得通的。”

大家听到董事长的话,实验室内瞬间爆出一阵热烈的掌声与欢呼,科研人员们相互击掌,脸上洋溢着无法掩饰的喜悦与兴奋。

当然,大家也知道,这只是初步成功而已,还不能高兴过早。

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